接地电阻柜微小机械敏感器
发布人：管理员 发布时间：2014-5-19
接地电阻柜微小机械敏感器近来有把传感器与机构部件结合为一体的发展动向，它将特别适合在机器人上使用。
有人设想，在一块半导体硅基片上不仅做上了传感器和电子电路，而且做上机械元件，使之一体化。这种新型器件的制造技术是利用硅晶体的生长速度的各向导性和杂技分布的异存性，在硅片上打孔、划沟，以及作出锥形、半球形等各种形状的机械部件，可以制成阀门、棱镜、平镜、喷嘴、插塞、打字头等。这种方法可以做出力、压力、加速度、化学气氛浓度等的传感器。这种器件在化学分析方面有独到之处，例如，可以把复杂的气体色谱仪作在一个硅片上，在2英寸直径的一块硅片上不仅做上检测元件，而且做上了1.5米长的色谱柱和取样装置。
最近研制了一种用五个这种色谱分析传感器与微处理机相组合，做成便携式微型气体色谱仪。五个色谱柱具有不同的特性，组合起来能分析约一百种气体。它在大气分析、化工气相分析方面有广泛的用途。
今后，温度传感器、压力传感器等种种不同的传感器复合为一体，并与集成电路做在一块，使信号数字化，甚至与机械部件做在一起，这种就能有效地完成自动化控制的任务。
有人设想，在一块半导体硅基片上不仅做上了传感器和电子电路，而且做上机械元件，使之一体化。这种新型器件的制造技术是利用硅晶体的生长速度的各向导性和杂技分布的异存性，在硅片上打孔、划沟，以及作出锥形、半球形等各种形状的机械部件，可以制成阀门、棱镜、平镜、喷嘴、插塞、打字头等。这种方法可以做出力、压力、加速度、化学气氛浓度等的传感器。这种器件在化学分析方面有独到之处，例如，可以把复杂的气体色谱仪作在一个硅片上，在2英寸直径的一块硅片上不仅做上检测元件，而且做上了1.5米长的色谱柱和取样装置。
最近研制了一种用五个这种色谱分析传感器与微处理机相组合，做成便携式微型气体色谱仪。五个色谱柱具有不同的特性，组合起来能分析约一百种气体。它在大气分析、化工气相分析方面有广泛的用途。
今后，温度传感器、压力传感器等种种不同的传感器复合为一体，并与集成电路做在一块，使信号数字化，甚至与机械部件做在一起，这种就能有效地完成自动化控制的任务。
下一篇：过电压保护器传感器的灵巧化
